av中文字幕潮喷人妻系列,欧美videosfree性派对,欧美色精品人妻在线视频,亚洲国产精品无码久久九九大片

技術(shù)文章

Technical articles

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章磁控濺射沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)

磁控濺射沉積系統(tǒng)設(shè)計(jì)

更新時(shí)間:2020-04-17點(diǎn)擊次數(shù):2211

      針對(duì)光學(xué)和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問題,設(shè)計(jì)了一種磁控濺射沉積系統(tǒng),系統(tǒng)包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽極清洗裝置。

主要結(jié)論有:

(1)在磁控濺射靶裝置設(shè)計(jì)中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達(dá)10-6 Pa;采用旋轉(zhuǎn)磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時(shí)避免了靶裝置在預(yù)先清洗時(shí)的污染;設(shè)計(jì)了靶裝置的驅(qū)動(dòng)端,完成了電機(jī)、傳動(dòng)裝置和軸承的選型。

(2)設(shè)計(jì)等離子體源來改善沉積系統(tǒng)離化率不足的問題。選擇0.2 mm鎢絲制成陰極,坩堝作為陽極。利用基爾霍夫定律計(jì)算出螺旋管的長(zhǎng)度與橫截面積。比較了等離子體源的四種電源連接方式,選擇在螺旋管兩端加入輔助調(diào)節(jié)電源,方便調(diào)節(jié)電磁場(chǎng)的方式。

(3)設(shè)計(jì)了陽極清洗裝置來解決磁控濺射中的陽極污染問題。陽極清洗裝置包括可旋轉(zhuǎn)陽極和清洗裝置兩部分,設(shè)計(jì)了多套清洗裝置協(xié)同工作時(shí)的電源連接方式。制定了冷卻系統(tǒng)方案和管路圖來滿足系統(tǒng)的冷卻設(shè)計(jì)要求。設(shè)計(jì)了一套供氣系統(tǒng),根據(jù)設(shè)計(jì)要求確定了電磁閥和質(zhì)量流量計(jì)的型號(hào)。 

我的漂亮女房东完整版在线韩剧| 一边摸一边叫床一边爽| 2022最新韩国理伦片在线观看 | 天天躁日日躁狠狠躁AV| 被灌满精子的五个女校花| 亚洲午夜精品久久久久久app| 波多野结衣的电影| 日本爽爽爽爽爽爽在线观看免| 鬼父在线视频观看| 亚洲精华国产精华液| 影帝床戏真进去了h| 中文字幕无码毛片免费看| 中文精品久久久久人妻不卡| 狼牙套加粗震动入珠套h| 国产a级特黄的片子| 欧美性1生交XXXXX无码| 视频一区二区三区sm重味| 最近中文字幕MV高清在线视频| 亚洲爆乳无码一区二区三区 | 99精品免费久久久久久久久日本 | 激情五月综合色婷婷一区二区| 老太性开放bbwbbwbbw| 无码丰满熟妇juliaann与黑人| 国产超碰人人做人人爽AV| 熟妇就是水多12p| 国产av一区二区三区传媒| 久久人人爽人人爽人人片| 精品人妻无码一区二区三区性| 老师在办公室被躁得好爽| 色偷偷噜噜噜亚洲男人| 无遮掩60分钟从头啪到尾| 国产精品又黄又爽又色无遮挡| 亚洲精品乱码久久久久久中文字幕| 亚洲国产成人久久一区二区三区| 久久免费看少妇高潮v片特黄 | 激情综合亚洲色婷婷五月app| 狠狠色丁香婷婷综合| 国产高潮国产高潮久久久| 无码人妻一区二区三区免费视频| 欧美人妻精品一区二区三区| 精品人人妻人人澡人人爽牛牛|